SPORLAN流量控制器GP200系列
瀏覽次數：502 發布于：2023-05-08
GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質量流量控制器，專為半導體制造中的先進蝕刻和沉積工藝而設計。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時也能提供準確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統的復雜性和擁有成本，因為它消除了對壓力調節器和傳感器等組件的需求。性能特點較低的入口壓力操作
下游閥結構
匹配的瞬態響應深圳市華聯歐國際貿易有限公司工業自動化品牌產品種類眾多，我們可提供從獨立元件到全面集成的定制系統解決方案及工業備品備件選型服務，每種解決方案都可以為客戶帶來高效的靈活性和附加值。我們是工業自動化的全球合作伙伴;我們的目標是可持續發展。我們的專業是自動化;我們的使命是創新。我們的激情來自合作伙伴關系!誠信為首、正品采購、價格優惠、品質保障、體貼的服務為您提供安全、可靠、完善的售前、售后服務，不斷追求更加卓越的企業品質，向專業多元化的產品模式穩步前進。下文華聯歐小編將為您詳細講解有關《優勢供應SPORLAN流量控制器GP200系列》等內容，歡迎您繼續閱讀，祝您生活愉快，謝謝~
GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質量流量控制器，專為半導體制造中的先進蝕刻和沉積工藝而設計。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時也能提供準確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統的復雜性和擁有成本，因為它消除了對壓力調節器和傳感器等組件的需求。
性能特點
- 較低的入口壓力操作
- 下游閥結構
- 匹配的瞬態響應
- 零泄漏控制閥
- 本地顯示指示流量、溫度、壓力和網絡地址
- 通過消除匹配和補償兩個獨立壓力傳感器的要求，GP200 差壓技術降低了測量不確定性，從而提高了精度、可重復性和漂移性能。
- 由于 GP200 差壓傳感器專門針對低壓差測量進行了優化，現在使用 P-MFC 可以在較低的入口壓力下實現更安全的工廠操作。
- 下游閥門結構確保精度獨立于下游壓力，使流量能夠在高達 1200 Torr 的壓力下輸送。快速關閉閥解決了非生產性配方等待時間或“尾部效應”，這在上游 MFC 閥門設計中可見，需要額外的時間來排出其內部氣體體積。
- 快、高度可重復的上升和下降流動穩定時間可在先進的高循環沉積和蝕刻工藝中實現更嚴格的工藝控制。
- 閥門關閉性能提高 100 倍
- 借助 MultiFlo TM，MFC 滿量程流量范圍通常可以按 3:1 的比例重新縮小，而不會影響規格的精度、量程比或泄漏，從而實現工藝和庫存靈活性
- 方便的用戶顯示和獨立的診斷/服務端口有助于設備安裝、監控和故障排除
技術參數
性能：
- 流量范圍（滿量程）：3 sccm - 50,000 sccm
- 準確性：
零泄漏閥：<±1％S.P.（5-100％F.S.）
<±0.05％F。S.（0.5-5％F.S.）
金屬密封閥：<±1％S.P.（5-100％F.S.）
<±0.05％F。S.（2-5％F.S.）
- 可重復性：<±0.15％S.P.
- 響應時間：280±20 ms匹配的瞬態響應，對于任何上升或下降的非零設定點
- 多氣和范圍可配置性：MultiFlo標準
- 控制范圍：
零泄漏閥：0.5-100％F.S。
金屬密封閥：2-100％F.S。
- 零穩定性：<±0.15％F.S每年
- 流動溫度系數：
零：0.005％F.S 每°C
跨度：0.05％S.P.每°C
機械參數：
- 密封材料：金屬
- 純度 /表面飾面：5µ inch Ra avg
- 接液材料：316L
Hastelloy C-22
316/316L Stainless Steel
304 Stainless Steel
KM-45
PCTFE
- 閥門選項：通常關閉
- max溫度：60℃
- 壓差范圍：
min：7 psid
max：50 psid
詳細參數
產品應用
深圳市華聯歐國際貿易有限公司是中國工業控制自動化領域的貼心一站式服務商，專業從事各種國外中高端工控自動化產品的采購供應貿易與配套服務，主要經營來自歐洲,美國,英語等國知名品牌的高端精密編碼器,傳感器,儀器儀表及各類自動化產品，并與德國,意大利,美國,法國,英國,瑞典,瑞士等國家品牌供應商之間建立了高效快捷的供貨渠道，竭力為國內客戶提供最優惠的價格，以及優質的售后服務。我公司主要供應產品為：傳感器，編碼器，泵，閥，電機，高低壓電氣，流體控制，控制元件等一些歐洲國家的中高端產品。以上介紹的就是今天華聯歐小編為大家準備的有關《優勢供應SPORLAN流量控制器GP200系列》等文章內容了，如果您今后還有任何的歐洲工業備品備件產品的需求或疑難備件采購，歡迎來電咨詢，我們會為您提供優質服務。
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